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Schaltschrank zur Strukturierung von Maschinenkomponenten

Für die Strukturierung eines Maschinenteils in der Halbleiterindustrie hat VIRO einen Schaltschrank entwickelt. Dieser sorgt dafür, dass alle erforderlichen Gase und Flüssigkeiten mit dem richtigen Fluss und Druck bzw. der richtigen Temperatur und Reinheit an- und abgeführt werden.

VIRO hat dafür das mechanische Konzept (P&ID), Basic- und Detailengineering ausgeführt und abschließend auch die Hardware geliefert.